非极性/半极性氮化镓自支撑衬底（M面）
性能参数：
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产品型号 GaN-FS-M-U/N/SI-S 尺寸 （5.0~10.0）× 10.0 mm2 （5.0~10.0）× 20.0mm2 厚度 350±25μm 晶面 （1100） 斜切角 -1°±0.2° TTV ≤10μm 弯曲度 ≤10μm 导电类型
电阻率（300 K）N-type < 0.1Ω·cm N-type < 0.05Ω·cm Semi-Insulating > 106Ω·cm 位错密度 From 1x105 to 3x106 cm-2 有效面积 >90% 抛光 Front Surface：Ra＜0.2 nm（polished）
Back Surface：1-3nm(fine ground);
option：<0.2nm(polished).包装 Packaged in a class 100 clean room environment,
in single container,under a nitrogen atmosphere.
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