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2英寸氮化铝厚膜晶片
【编号】
BK2020081715
【CAS号】
【货号】
【规格】
11813
5分钟轻松选对产品方案
17715390137 / 18101240246 / 18914047343
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应用案例
性能参数:
Item
AlN-T-C-C50
Dimension
Ф 50.8 ± 0.2 mm
Thickness/Thickness STD
1-5μm±10%/<3%
Orientation of AIN
C-plane (0001) off angle toward A-axis 0.2±0.1°
Orientation Flat of AIN
(1-100)0±0.2°,16±1mm
Conduction Type
Semi-Insulating
XRD Crystal Quality
[1,2)μm
[2,3)μm
[3,4)μm
[4,5)μm
(0002)FWHM(arcsec)
≤80
≤100
≤120
≤160
(10-12)FWHM(arcsec)
≤650
≤550
≤450
≤400
Structure
~1-5AIN/~20nm AIN buffer/430±25μm sapphire
Edge Exclusion
≤2.5μm
Through Crack
None
Orientation of sapphire
C plane(0001) off angle toward M-axis 0.2±0.1°
Orientation Flat of sapphire
(11-20)0±0.2°,16±1mm
Sapphire Polish
Single side polished(SSP)/Double side polished (DSP)
Package
Packagesd in a cleanroom in containers
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