100μm叉指金电极薄膜电路IDE电容阵列气体湿度生物传感器芯片
| 【编号】BK2021012502 | 【CAS号】cas | ||
| 【货号】BK2021012502 | 【规格】 | ||
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1、基材:氧化铝陶瓷，厚度0.38mm;外形尺寸: 10mm*10mm。
2、线宽:100 u m，线间距:100 u m，指长:7.7mm。叉指对数:12对（24指）。
3、金属层结构:Ti/Cu/Ni/Au，厚度分别为:0.1 u m、5u m、4 u m、1 u m。
4、适用温度:-150℃~350℃。
5、大焊盘，更容易实验操作和观察。我们提供各种叉指电极，包括不同形状，不同尺寸，不同线宽线距，不同基材（氧化铝陶瓷，PI/PET柔性材料，单晶硅），不同工艺（厚膜工艺，DPC 工艺，MEMS 工艺)。
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